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[11月21日]讲座：溅射薄膜沉积与离子束抛光-技术与设备

发布时间：2010-11-18

讲座题目：溅射薄膜沉积与离子束抛光--技术与设备
 
主 讲 人：Dr. Marian Haff.（德国Roth&Rau MicroSystems公司）
 
主讲内容：离子束、等离子体技术；
                离子束/磁控溅射镀膜技术与设备；
                离子束抛光技术与设备
 
时        间：11月21日（周日），上午9:00-12:00
 
地       点：物理馆512会议室
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