扫描电子显微镜及电子束曝光系统

型号：FEI Nova450 + NPGS 9.0

设备介绍：扫描电子显微镜是一种利用聚焦的高能电子束扫描样品，通过电子与物质间的相互作用激发各种物理信息，如二次电子、背散射电子等，对这些信息收集、放大、再成像的过程，以达到对物质微观形貌表征的目的。本SEM具有许多突出的特点，如高分辨率（可达1nm）、大放大倍数（可高达10万倍）、良好的景深和视野、立体感强的成像效果。此外，本SEM装有EDX，实现微观形貌观察与成分分析的同步进行。由于SEM的工作方式与电子束曝光机十分相近，本SEM经过和NPGS配合改装为曝光机。主要改装工作是设计一个图形发生器和数模转换电路，并配备一台PC机。PC机通过图形发生器和数模转换电器去驱动SEM的扫描线圈，从而使电子束偏转。同时通过图形发生器控制束闸的通断，最终在工件上描绘出所要求的图形。通常采用矢量扫描方式描绘图形，即在扫描场内以矢量方式移动电子束，在单元图形内以光栅扫描填充。